空気中の微粒子がどの程度少ないか、つまりどれくらいキレイなのか。
クラスの示す尺度は、単位体積に含まれる粒子の数で示されます。
ただし業界では以前より広く慣用されている米国連邦規格を使用する時が多い状況です。
アメリカ連邦規格では1立方フィート(約30cm四方)の空気中に内蔵される0.5μm以上の大きさの粒子の数がいくつかで、クリーンルームのクラス分けをしています。
ISO規格では1m3当たりの空気中に0.1μm以上の粒子が基準になっておりISOクラス1〜9までクラスを分類しています。
例えば、0.5μm微粒子が1立方フィートのなかに100個以下のケースはクラス100、0.5μm粒子が10000個以下のケースはクラス10000となります。
クリーンルームは空気中の微粒子が少ない部屋です。
これらについての規格がクラス(清浄度)です。
規格はJISやISOがありますが、現在クラスについては国際調整規格であるISO規格に移行されています。
クリーンルーム メンテナンス
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